蔡司场发射扫描电镜(Sigma/GeminiSEM)开关机指南

 　　蔡司代理昆山友硕工程师在五一假期来临之际给大家介绍蔡司场发射扫描电镜(Sigma/GeminiSEM)开关机指南：放假期间，若您实验室的设备需要进行开关机操作，请您花费几分钟的时间，阅读以下注意事项，正确进行设备的开关机操作和维护保养，确保仪器设备可以持续高效稳定的顺利运行。

　　开机

　　✓ 确认UPS正常供电，房间温度 20~24℃，湿度小于65%

　　✓ 打开水冷箱，调节水压，观察水流应该在1~1.7L/min 之间，水压小于 3bar，等待水温达到设定值18 ~ 22℃

　　✓ 打开空压机，等待输出压力稳定到5~6 bar

　　✓ 打开电镜主机背面空气开关(此时正面Off红灯亮起)

　　▲场发射扫描电镜Sigma系列

　　▲蔡司场发射扫描电镜GeminiSEM系列

　　✓ 按 Standby 黄灯亮起，等待 1 分钟再按 On 绿灯亮起

　　✓打开电脑，随后打开 SmartSEM 和 gun monitor ，确认 system vacuum 在 2e-005mbar 至 5e-005mbar 时，逆时针拧开(拧到头)下级离子泵手阀(如果只有一个离子泵就打开仅有的一个手阀)

　　✓ 等待 gun vacuum 出现并小于 5e-006mbar 时关闭手阀

　　*注意：如果Sigma 300/500 VP、Merlin Compact VP等带VP的机型有2个离子泵，则无需关闭

　　✓ 拔掉 gun head

　　*提示：有些新机型是不需要拔的，具体参考装机时的培训

　　✓ 在 SmartSEM 侧边栏找到 Bakeout 选择 overnight 点 Start 。12 小时后，关闭手阀(假如之前没有关)

　　✓ 烘烤完成后 gun vacuum 小于 3e-009mbar ， system vacuum 小于 1e-005mbar ，插回 gun head(如果烘烤时拔掉)，点 Gun on，完成后电镜就可以正常使用了

　　关机

　　✓ 提前关闭电镜附件及附件电脑，关闭氮气瓶主阀门

　　✓ 在 SmartSEM 中点击 Shutdown Gun 并点击 Yes 关闭灯丝(如没有该选项，需切换到service账户完成)

　　✓ 关闭 SmartSEM 软件，关闭 EM Server ，关电脑

　　✓ 电镜按 Standby 键(黄灯)，等待一分钟，电镜按 Off 键(红灯)

　　✓ 将电镜主机后方的总开关旋钮旋到 OFF(红灯熄灭)

　　✓ 水箱显示屏点开关键，选择 Yes 关闭水箱

　　✓ 关闭空压机电源

　　最后的最后

　　如您遇到任何问题

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